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7天磁控离子溅射热蒸发碳镀膜机
简介
磁控离子溅射装置和热蒸发碳镀膜机是实验室SEM样品制备的理想选择。SD900C 型号（磁控离子溅射装置）广泛用于在非导电或热敏 SEM 样品上镀Au以获得更好的成像效果。它还非常适合表面处理，避免损坏基板样品。
SD900C型号（热蒸发碳单元）碳涂层机在样品表面涂上薄薄的导电碳膜。将此涂层应用于非导电样品是一种有效的制备技术，可减少用于SEM分析的充电电子伪影。
使用合适的真空泵，5分钟内即可快速达到工作真空压力。它对用户友好且易于操作。
镀膜仪包括真空泵，冷却器是可选配。(用于磁控离子溅射装置)
参数
真空泵 | （泵油）旋转真空泵 |
旋转真空泵转速 | 50 Hz : 8 m³/h (2.2 L/s)/ 60 Hz :9.6m³/h (2.6 L/s) |
极限真空度 | 2Pa |
最大溅射电流 | 100mA |
最大蒸发电流 | 100A |
溅射工作压力 | 20Pa-8Pa |
工作真空压力 | 6Pa-4Pa |
真空测量 | 测量范围从大气压到2*10-2mbar |
气体控制 | 气体流量控制阀 |
腔体尺寸 | Φ150*120mm (长)抗刮石英玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸 φ50*0.1mm(金)/溅射靶源: 金、银、铂 |
蒸发靶源 | 溅射材料：碳绳/溅射靶源：碳绳 |
操作方法 | 操作手册 |
（2单位）重量/（1单位）尺寸 | 55kg/360mm长x300mm宽x380mm高 |
电源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
能量消耗 | <2000W |
冷却方式 | 风冷(泵)+ 水冷(溅射靶) |
质量保证 | 一年有限质量保证/保修/支持 |
IPv6 network supported
