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7天磁控离子溅射镀膜机
简介
磁控离子溅射镀膜机（SD900M 型号）是实验室 SEM 样品制备的理想选择。 它广泛用于在非导电或热敏 SEM 样品上涂上 Au，以获得更好的成像效果。 它还非常适合表面处理，避免损坏基板样品。
SEM下的涂层结果样品图片（SD-900M 型号） EPTFE（加长聚四氟乙烯）
低真空，使用合适的真空泵5分钟内即可快速达到。它产生的热量少得多，并且避免了等离子体对基板样品的损坏。它对用户友好且易于操作。镀膜仪包含有真空泵，且冷却器是可选的。
参数
真空泵 | （泵油）旋转真空泵 |
旋转真空泵转速 | 50Hz: 8 m³/h (2.2L/s)/ 60Hz: 9.6m³/h (2.6L/s) |
最大蒸发电流 | 100mA |
极限真空度 | 2Pa |
工作压力 | 20Pa-8Pa |
抽真空时间 | <5 Min(2Pa) |
真空测量 | 测量范围从大气压到2*10-2mbar |
气体控制 | 气体流量控制阀 |
腔体尺寸 | Φ150*120mm (高) 抗刮石英石玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸 φ50*0.1mm(金)/溅射靶源: 金、银、铂 |
操作方法 |  操作手册 |
重量/尺寸 | 45kg/360mm长x300mm宽x380mm高 |
电源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
能量消耗 | <1500W |
冷却方式 | 水冷(可选) |
质量保证 | 一年有限质量保证/保修/支持 |
IPv6 network supported
