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7天离子溅射镀膜机
简介
离子溅射镀膜机(SD900 型号)是实验室SEM样品制备的理想选择。 它广泛用于在非导电SEM样品上涂上Au以获得更好的成像效果。它也非常适合表面处理。
使用适当的真空泵可在2分钟内迅速达到工作真空压力。它产生的热量少得多。它对用户友好且易于操作。
镀膜仪包含有真空泵。
参数
真空泵 | (泵油)旋转真空泵 |
旋转真空泵转速 | 50 Hz: 8m³/h (2.2L/s)/ 60Hz: 9.6m³/h (2.6L/s) |
极限真空度 | 2Pa |
最大蒸发电流 | 0-20mA |
工作压力 | 30Pa-7Pa |
抽真空时间 | <5Min(2Pa) |
真空测量 | 测量范围从大气压到2*10-2mbar |
气体控制 | 气体流量控制阀 |
腔体尺寸 | Φ150*120mm (高) 抗刮石英玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸φ50*0.1mm(金)/溅射靶源: 金、银、铂 |
操作方法 | 操作手册 |
重量/尺寸 | 45kg/360mm长 x 300mm 宽x 380mm 高 |
电源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
电源功率 | <1500W |
冷却方式 | 风冷 |
质量保证 | 一年有限质量保证/保修/支持 |