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品牌:
TMAX型号:
TMAX-SD-2200M支付方式:
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CE证书发货时间:
7天锰控溅射涂布机
技术参数
真空泵 | (需要用油) 旋转真空泵 |
旋转泵的速度 | 50Hz:16m3/h(4.4L/s)/60Hz:19.2m3/h(5.2L/s) |
真空极限 | 2Pa |
最大溅射电流 | 1.6A |
工作压力 | 20Pa-8Pa |
抽真空时间 | ＜5Min(2Pa) |
真空测量 | 测量范围从大气到2x10-2mbar |
气体控制 | 气体流量控制器 |
腔体大小 | φ350*240mm（高）耐刮擦石英玻璃 |
目标来源 | 靶材尺寸φ200mm/靶材来源： 金、银、铂、铜 |
操作方法 | 使用说明书 |
重量/尺寸 | 70kg/长490mm×宽400mm×高590mm |
电源 | AC110V 60Hz或AC220V 50Hz |
耗电量 | <1500W |
保修 | 一年有限保修，终身技术支持 |
IPv6 network supported
