联系人: 黄经理
联系电话:13615038428
电话咨询请告知是在天美福官网上看得到的，谢谢!
品牌:
TMAX型号:
TMAX-SD-650MHG支付方式:
信用证、电汇、西联汇款、信用卡、PayPal证书:
CE证书发货时间:
7天高真空磁控溅射镀膜机
技术参数
真空泵组 | (需用油）旋转真空泵+（无油）涡轮分子泵组 |
旋转泵的速度 | 50Hz： 16 m3/h (4.4 L/s)/60Hz： 19.2m3/h (5.2 L/s) |
分子泵的速度 | 300 L/s |
真空极限 | 5x10-5 Pa |
工作压力 | 0.5-5 Pa |
抽真空时间 | ＞10 Min ( 10-3Pa ) |
真空测量 | 测量范围从大气到1x10-6Pa |
气体控制 | 气体流量控制器 |
腔体大小 | φ260*200mm(高)金属 |
磁控靶源 | 目标尺寸φ50*3mm(铜)/目标源： 弱磁性物质/材料 |
操作方法 | 说明书 |
重量/尺寸 | 100kg/长610mm×宽420mm×高490mm |
电源 | AC 110V 60Hz或AC 220V 50Hz |
耗电量 | ＜3000W |
冷却消耗 | 风冷（泵）+水冷（溅射靶）。 |
保修期 | 一年有限保修，终身产品支持 |
IPv6 network supported
