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TMAX型号:
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7天便携式自动离子溅射镀膜机
简介
紧凑型自动离子溅射镀膜机(SD800型号),专为实验室SEM样品制备而设计。 它广泛用于在非导电SEM样品上涂上Au以获得更好的成像效果。它也非常适合表面处理。
使用适当的真空泵可快速达到工作真空压力。它产生的热量少得多。 它是用户友好的,并且使用时间控制易于操作。
镀膜仪包含有真空泵。
参数
真空泵 | (泵油)旋转真空泵 |
旋转真空泵转速 | 50 Hz:8m³/h (2.2L/s)/ 60Hz:9.6m³/h (2.6L/s) |
抽真空时间 | <2Min |
腔体尺寸 | Φ115*100mm(高)抗刮石英玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸φ50*0.1mm(金)/溅射靶源: 金、银、铂 |
操作方法 | 操作手册 |
重量/尺寸 | 40kg/307mm长x260mm宽x260mm高 |
电源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
电源功率 | <1500W |
冷却方式 | 风冷(蒸发) |
质量保证 | 一年有限质量保证/保修/支持 |