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7天1200C管式炉带有石英管和电阻丝加热元件
产品介绍
四路质子混气管式PECVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的红心过来促进反应，因而这种CVD成为等离子体增强化学气相沉积（PECVD）,内炉膛采用高质量的氧化炉陶瓷纤维可以提高设备加热效率，同事也可以延长仪器的使用寿命。
主要特点：虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应祸心个点中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜
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常规炉型选型表
型号 | 规格φ*L(mm) | 最高温度（℃） | 输入电源/功率（V/KW） |
SK2-2-12TPA2 | φ40*L205 | 1200℃ | 220V/2KW |
SK2-3-12TPA3 | φ40*L350 | 1200℃ | 220V/3KW |
SK2-4-12TPA4 | φ40*L440 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-4-12TPA3 | φ60*L205 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-4-12TPA3 | φ60*L350 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-5-12TPA3 | φ60*L440 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-5-12TPA3 | φ80*L205 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-6-12TPA3 | φ80*L350 | 1200℃ | 220V/6KW |
SK2-5-12TPA3 | φ80*L440 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-6-12TPA3 | φ100*L205 | 1200℃ | 220V/6KW |
SK2-7-12TPA3 | φ100*L350 | 1200℃ | 220V/7KW |
SK2-2-14TPA3 | φ100*L440 | 1200℃ | 220V/8KW |
备注 | 可定制各种异型尺寸 | 双温区 | 多温区 |
细节展示
IPv6 network supported
